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扫描开尔文探头 研究样品的电表面状态

专用于测量半导体样品表面的电子功函数。

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描述

扫描开尔文探头可以测量 CPD(接触电位差)值,评估半导体和导电材料的功函数。测量不仅可以在样品表面的单点进行,还可以对整个表面进行扫描。

功函数测量在半导体物理学中特别有用,因为它提供了被测材料费米级的位置。

配备光源的开尔文探针可以检测样品的电子表面状态。电子的表面状态在电荷转移中起着重要作用,这对光伏材料和光电化学尤其重要。

通过扫描样品表面并检查其电学特性,可以精确评估材料的质量及其均匀性。 实验过程中收集的一系列数据可用于更精确地评估工作功能。

 

静电电压表

扫描式开尔文探头可确定被测样品表面(包括电介质)的静电荷分布!(最高可达几 kV)。该仪器采用的测量方法和设计使其在测试带电介质表面方面独一无二、无与伦比。该系统能够确定样品表面的静电荷分布(最高可达数 kV!)。

 

开尔文探头模块

仪器由支架上的探头、电子控制系统和法拉第笼组成。

  • 样品放置在 XY 工作台上的两个支架中的一个上。电动工作台可使样品在 X 和 Y 两个方向上移动 5 厘米: X 和 Y 方向移动 5 厘米。
  • 每次探针接近被测样品时,都会精确测量样品表面与探针之间的距离,精度为 50 微米。在所采用的方法中,垂直轴的精度对于确定工作函数并不重要。
  • 探头配有激光指示器,可在测量时照亮探头上方的一个点。光源有助于观察法拉第笼下的样品。
  • 探头上方安装有光纤适配器。光纤可以用单色仪LED 左轮手枪发出的光照射样品。
  • 在样品处理过程中,探针隐藏在金属盖下,可防止探针意外损坏。

 

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探头尖端

探头尖端是完全由 Instytut Fotonowy 设计和制造的组件,它提供

 

  • 即使距离样品上方 0.5 毫米,也能发出较大信号。 因此,样品表面是粗糙的还是抛光的并不重要。
  • 让光线透过的透明度。 这样样品就可以被垂直光束照亮。

尖端振荡由电磁铁产生。

 

 

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样本持有者

开尔文探针套件包括两种类型的样品台

  • 用于薄膜样品

  • 用于自由成型的固态样品

法拉第笼

整个测量仪器由法拉第笼罩,使系统与周围环境隔绝。接地插座位于法拉第笼上。

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规格

 

根据设备开发的进一步进程,以下规格可能会有所改变。

 

Voltage range-5 V .. 5 V
Voltage measurement nominal resolution0.15 mV
Measurement technology2-channel lock-in amplifier
Sample holdermotorized translation stage X-Y,
Sample standstand for sample layer/ stand for solid state sample
Range of stage movement5 cm x 5 cm
Min sample move step1 µm
Tip typeAu, mesh, dia. 2.5 mm
Tip Z positioningmotorized Z stage
Positioning with respect to a samplelight barrier
Tip Z positioning resolution10 µm
Spectral range for wave guides200 nm .. 2000 nm (depending on a waveguide)
Liquid waveguides selection (Lumatec)Wybór światłowodów Lumatec
Auxiliary sensorshumidity and temperature
Internal Faraday cage illuminationwhite LED
X-Y positioning aidlaser sample placement indicator
PC connectivityUSB 2.0
Size40 x 40 x 45 cm
Weight15 kg

典范成果

铝表面

样品表面的电动势分布

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测量时的环境温度

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测量过程中的空气湿度

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带周期性小孔的金属表面样品

表面 CPD 评估值

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测量过程中的预览

样品表面的电动势分布

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测量过程中的环境温度

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测量过程中的空气湿度

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介质表面的电荷分布

铝箔上的聚四氟乙烯 – 来自样品表面电荷的电动势

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