许多材料的特性取决于其表面。其中最重要的表面特性之一就是功函数。
开尔文探针系统可以高精度、高准确度地精确测量不同半导体和导电材料的功函数。
非接触式测量涉及振荡电容器,其中一个电极是试样,另一个是由金网格制成的振荡参比电极。因此,测量值以金的功函数(5.1 eV)为基准。在足够长的积分时间内,测量分辨率可达 0.1 meV。开尔文探针系统可用于各种表面研究,包括腐蚀、吸附/解吸、表面充电、催化活性等。
为方便起见,探头配备了激光指示器和数码显微镜。电动垂直定位系统可使参比电极与试样表面保持相同距离(精度为 10 微米)。可选配 X-Y 定位系统。该系统还配备了宽带光导,可与数字控制单色仪和高压氙弧灯连接。波长范围从 300 纳米到 1000 纳米,可用于连续或脉冲样品照明。这种配置可用于测量表面的功函数和电荷、表面光电电压光谱和其他光物理技术,光电电压分辨率优于 5 mV(积分时间长时为 0.1 mV)。整个系统安装在接地的法拉第笼中,以减少电噪声和杂散光的影响。这种表面光电电压光谱仪是研究光催化剂、有机和无机半导体、太阳能电池及其他光活性材料和器件的重要工具。借助这种开尔文探针/表面光电压光谱仪,还可以实时监测半导体的光腐蚀、光吸附和光催化反应。
该仪器由安装在坚固支架上的振荡金探针、Z 轴电动平台、电子控制单元和法拉第笼组成。
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探头尖端是完全由 Instytut Fotonowy 设计和制造的组件,它提供:
尖端振荡由电磁铁产生。
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由于仪器的不断发展,以下参数可能会发生变化
Voltage range | -5 V .. 5 V |
Voltage measurement nominal resolution | 0.15 mV |
Measurement technology | 2-channel lock-in amplifier |
Sample holder | translation stage X-Y, manual (default) or motorized |
X-Y stage stroke | 15 mm x 15 mm |
Tip type | Au mesh, dia. 2.5 mm |
Tip Z positioning | motorized Z stage |
Positioning with respect to a sample | light barrier |
Tip Z positioning resolution | 10 µm |
Spectral range for wave guides | 200 nm .. 2000 nm (depending on a waveguide) |
Liquid waveguides selection (Lumatec) | |
Auxiliary sensors | humidity and temperature |
Internal Faraday cage illumination | white LED |
X-Y positioning aid | laser sample placement indicator |
PC connectivity | USB 2.0 |
Size | 40 x 40 x 45 cm |
Weight | 15 kg |
以下结果来自 Radecka 教授小组(波兰克拉科夫 AGH)。
抗蚀剂样品的表面光电压谱。光电压是根据脉冲照明与金栅参比电极的表面电位变化来测量的。
由于测量是在环境空气中进行的,因此仪器会记录空气湿度和温度。这两个参数可能会影响样品的功函数。
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